먼저, 혼합액 탱크에 용해된 혼합액을 여과포 필터에 공급하여 여과를 시작합니다. 이때 여과액은 순환을 위해 상기 혼합액 탱크로 되돌아간다.
여과포 필터의 여과포에 필요한 두께의 여과 케이크가 형성되면 여과액은 혼합액 탱크로 되돌아가지 않고 여과를 위한 배출 경로를 통해 흐릅니다.
용해된 혼합물의 여과가 완료된 후, 여과포 필터의 여과포 여과면의 일측에 가압 공기를 공급하여 여과포에 형성된 여과 케이크를 탈수시킨 후 순수한 물을 혼합물에 공급한다. 여과포 필터에 혼합탱크의 순수한 물을 공급하여 여과포 위의 여과 케이크를 청소합니다.
그 후, 여과포 필터의 여과포 여과면의 반대측에 가압된 공기를 공급하여 여과포 상의 여과 케이크를 떨어지게 하여 단결정 실리콘 입자를 수득한다.
